使用傳統(tǒng)清潔技術(shù)的化學試劑對環(huán)境極為有害。等離子輔助清潔。是化學清洗的替代品，金屬材料表面強化與改性是一種安全環(huán)保的清洗技術(shù)。另外，真空等離子表面處理機的耗材與傳統(tǒng)的清洗方式相比，其重要性也不大。目前，等離子清洗技術(shù)廣泛用于清洗金屬、聚合物和陶瓷的表面，去除混合電路和印刷電路板表面的殘留金屬，清洗生物醫(yī)學植入材料，清洗硅。晶圓表面、清潔和考古文物修復(fù)。。
一類是導(dǎo)致輕雜質(zhì)（氧、碳等）進入等離子體的機制；另一類是導(dǎo)致重（金屬）雜質(zhì)進入等離子體的機制。至于工作氣體，金屬材料表面改性工藝也經(jīng)歷了入射到壁、再釋回等離子體的過程，一般稱為氣體循環(huán)。 對于等離子體和表面相互作用的研究可分為兩個方面。理論工作主要致力于對一些過程的理解。如對濺射、起泡、單極弧、氣體循環(huán)、邊界層等現(xiàn)象建立相應(yīng)的物理模型，并試圖在物理參量間給出定量關(guān)系。
6.等離子體表面處理活化改性應(yīng)用領(lǐng)域：汽車燈罩.剎車片.門封膠前的處理.機械工業(yè)中金屬零件的微小.無害清潔處理；鏡面及鍍膜前處理；各種工業(yè)材料間接合封前處理；立體物體表面等改性處理。7.在許多工藝之前使用等離子表面清洗技術(shù)可以事半功倍，金屬材料表面強化與改性其中粘接預(yù)處理、印刷預(yù)處理、連接預(yù)處理、焊接預(yù)處理、封裝預(yù)處理等。
更改某些數(shù)據(jù)外觀的能力。使玻璃、塑料、陶瓷等材料表面活化，金屬材料表面強化與改性增強這些材料的附著力、相容性和滲透性。去除金屬數(shù)據(jù)表面的氧化層。要清洗消毒、滅菌。具有功能穩(wěn)定、性價比高、操作簡單、成本極低、易于保護等特點。金屬、陶瓷、玻璃、硅、塑料等不同幾何形狀和粗糙度物體的超凈改性。徹底清除樣品表面的有機污染物。定時加工，加工速度快，清洗效率高。綠色環(huán)保，無需使用化學溶劑，無需采樣，環(huán)保二次污染。在室溫下，樣品不經(jīng)過超級清洗處理。
金屬材料表面強化與改性
鍍鋁基膜等離子預(yù)處理:鍍鋁基膜預(yù)處理的目的是增加鍍鋁層的附著力，增加鍍鋁層的阻隔效果(如阻擋氣體和光線)，提高鍍鋁層的均勻性。在等離子體預(yù)處理過程中，對基板膜表面進行清洗(如用水)和活化，即對基板膜表面進行化學改性，使鋁金屬原子的附著更加牢固。
(1) 使用低壓和高密度等離子體的等離子蝕刻 (2) 薄膜太陽能電池的制造 (3) LCD、LED、OLED 和其他顯示設(shè)備的制造和清洗 (4) 芯片鍵合預(yù)處理 (5) 金屬氧化物的去除和清洗金屬高精度凈化 (6) 電連接器鍵合處理 (7) 材料表面處理與改性 (8) 等離子聚合介電薄膜和磁控濺射真空鍍膜 (9) 消毒、生物、醫(yī)學領(lǐng)域、種子處理、人體組織（傷口）處理（10）汽車傳感器處理、污水處理、廢氣處理等。
單晶、光纖、精鈮、鉭、海綿鈦等(2)高頻等離子流速慢(約0～10m/s)，弧柱直徑大。近年來，等離子發(fā)生器已廣泛用于實驗室，以促進大量的等離子工藝實驗。在工業(yè)上制備金屬氧化物、氮化物、碳化物或熔煉金屬時，氣相反應(yīng)就足夠了，因為反應(yīng)物會在熱區(qū)中停留很長時間。高頻等離子炬可分為電感耦合、電容耦合、微波耦合和火焰類型，這取決于耦合功率和等離子體的不同方法。
選擇適當?shù)姆磻?yīng)氣體和工藝參數(shù)可以促進獨特的特定反應(yīng)，形成不尋常的聚合物附著和結(jié)構(gòu)。通常可以選擇反應(yīng)物使等離子體與基材發(fā)生反應(yīng)，從而產(chǎn)生揮發(fā)性附著。這些附著在被處理材料表面的附件可以由于解吸而被真空泵移除，并且表面可以在沒有進一步清洗或中和的情況下被蝕刻。。在微電子生產(chǎn)過程中，等離子體表面處理技術(shù)已經(jīng)開始成為一種不可或缺的工藝。而等離子表面處理設(shè)備，在行業(yè)中更為人所知的“等離子清洗機”，也越來越為人所知。
金屬材料表面強化與改性
此時可減少出膠量，金屬材料表面改性工藝降低成本(約可節(jié)省出膠量的1/3)。此外，與同類清洗機設(shè)備相比，等離子表面處理機在加工工藝上具有明顯的優(yōu)勢。
此外，金屬材料表面強化與改性難粘材質(zhì)表層在等離子體的告知沖擊下，分子鏈斷裂交聯(lián)，增加了表層分子的相對分子質(zhì)量，改善了弱邊界層的狀況，對提高表層粘結(jié)性能也起到了積極的作用。經(jīng)低溫等離子體處理的材質(zhì)表面活性顯著提高，提高了表層粘結(jié)性，剝離強度大。四、難粘塑膠等離子體發(fā)生器表層處理具有以下特點1、改性僅發(fā)生在材質(zhì)表面層，不影響基體的固有性能。
