1、小技巧、操作簡單、易維護。
2、引進德國核心等離子技術，質量有保障。
3、進口針閥精密流量控制計，精度高。
4、316不銹鋼材質,耐腐蝕，環保不產生金屬污染。
5、多路工藝反應氣體通道，保證產品清洗效果。
6、可以根據客戶需求定制。
型 號
JL-RR8
等離子源系統
頻 率
13.56MHz 射頻
功 率
0~300W可調
真空系統
真空腔體
材質
石 英
腔體內部尺寸
Φ250 * Dept.260（直徑*深mm)
腔體容積
12 L
處理最大尺寸
8英寸
泵
真空泵
干泵
真空管路
不銹鋼管、不銹鋼波紋管
真空計
1×105~1×10-1Pa
質量流量計
＜±1% FS
氣路控制
4路處理氣體氣路，氣體流量可調
極限真空
5Pa
流量范圍
0-500SCCM（可調）
工藝氣體
Ar、CF4、N?、O?等等（可選）
控制系統
1、PLC 自動控制；
2、7寸觸摸屏,圖形用戶界面；
3、配方程序為 0~99；
4、多級權限操作；
5、圖形化曲線圖自動監測工藝參數狀態及錯誤信息；
6、存儲工藝數據及錯誤信息；
7、報警信息提示及追溯；
8、圖形化界面檢測處理參數；
9、自動、手動操作可切換；
10、維護提示緊急停止按鈕；
11、門感應器和真空互鎖；
12、機器運行信號指示；
13、機器運行結束提示；
外觀參數
外形尺寸(MM)
750*450*500(寬高深）
重 量
55KG
設施配置
電 力
單相三線制AC220V ,50-60Hz。所有配線符合《低壓配電設計規范 GB50054-95》、《低壓配電裝置及線路設計規范》等國標標準相關規定。
壓縮空氣
無
其 它
提供操作手冊、維護手冊、安裝手冊，易損件備件清單.
質保、售后服
務和技術支持
質 保
一年免費的維保和備件免費更換
技術支持
接到設備故障通知1個小時內提供遠程技術支持，對遠程無法定位解決的問題，提供現場維修服務
培 訓
設備正式試用前，提供完整、免費的技術培訓
